适用于超纯流体的风囊泵的设计研究  

作　　者：徐力 

机构地区：[1]上海至纯精密制造有限公司,上海200241

出　　处：《中国机械》2024年第17期13-17,共5页Machine China

摘　　要：半导体的湿法工艺是通过化学品(酸、碱、溶剂、添加剂等)、超纯水等液体介质,对晶圆表面进行刻蚀、清洗等处理,在整个制程中需要避免颗粒物、阴离子、金属离子等污染带来的工艺缺陷。因此在化学品系统、超纯水系统的制程中,所有部件都需要采用超洁净部件。风囊泵、隔膜阀、传感器等超纯部件对整个系统都至关重要。本文主要介绍风囊泵的工作原理,以及超纯风囊泵研发、生产过程中的关键技术。

关 键 词：半导体 湿法工艺 超纯流体 风囊泵 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学]