硅转化:激光纳米制造的新突破  

作　　者：李雨蒙(编译) 

机构地区：[1]《中国民商》

出　　处：《中国民商》2024年第7期64-65,共2页China Civil Entrepreneur

摘　　要：最近,研究人员开发了一种在硅材料内部进行纳米制造的新技术,可以建立特征尺寸低至100纳米的埋入式纳米结构。最近,研究人员开发了一种在硅材料内部进行纳米制造的新技术,可以建立特征尺寸低至100纳米的埋入式纳米结构。通过利用空间调制的激光脉冲,在制造纳米光子元件的过程中实现了前所未见的控制和精度,推动了电子和光子学的重要发展。

关 键 词：纳米结构 纳米制造 特征尺寸 激光脉冲 光子学 埋入式 硅材料 空间调制 

分 类 号：TB3[一般工业技术—材料科学与工程]