氟油加压检漏装置校准方法探讨  

作　　者：杨博 徐海东 

机构地区：[1]安徽省长江计量所

出　　处：《安徽科技》2024年第10期51-54,共4页Anhui Science & Technology

摘　　要：加压检漏装置主要应用于半导体器件、密封元器件等电子元器件的密封性检测,是专门针对半导体器件、集成电路、电子产品等电子元器件进行细检和粗检的一套自动化检漏装置。随着工业技术的快速发展,加压检漏装置在各类设备和系统的密封性检测中发挥着越来越重要的作用。它与氦质谱检漏仪和重氟油加热仪配合使用,可以进行电子元器件的整个细检和粗检过程。

关 键 词：检漏装置 半导体器件 电子元器件 密封性检测 氦质谱检漏仪 电子产品 氟油 设备和系统 

分 类 号：TB42[一般工业技术]