红外光谱技术在硅基材料中的应用  

作　　者：由欣然 郭国建 鲁毅 董俊伟 王泽熙 

机构地区：[1]山东非金属材料研究所

出　　处：《中国计量》2024年第10期86-89,共4页China Metrology

摘　　要：太阳能电池和半导体器件的主要材料为硅基材料。作为基础材料,硅材料中的杂质含量和性能一直是研究热点。随着科技的发展,红外光谱技术已不仅局限于物质的定性分析,在其他测试领域也有广泛的应用。文章详细分析了红外光谱技术在硅基材料中的应用,发现应用傅立叶变换红外光谱技术可有效提高硅基材料各方面的性能。

关 键 词：计量学 红外光谱 硅基材料 杂质含量 厚度 

分 类 号：O657.33[理学—分析化学] TQ127.2[理学—化学]