集成电路的失效分析技术研究  

作　　者：宋孝霖 项卓 

机构地区：[1]国营芜湖机械厂,安徽芜湖241007

出　　处：《中国设备工程》2024年第23期236-237,共2页China Plant Engineering

摘　　要：随着科学技术的发展,集成电路在电子设备中的应用越来越广泛。IC的可靠性也逐渐成为制约产品质量的关键因素之一,IC的失效分析工作越来越受到重视。本文主要对集成电路失效分析的过程、方法、技术、发展等方面进行了详细的分析和阐述,对提高集成电路可靠性起到了借鉴作用。

关 键 词：集成电路:电性能分析 失效分析 物理分析 

分 类 号：TN40[电子电信—微电子学与固体电子学] TN249