原子力显微镜音叉品质因子的改进与设计研究  

作　　者：陈晓宇[1] 

机构地区：[1]南京邮电大学波特兰学院,江苏省南京市210023

出　　处：《进展》2024年第21期93-95,共3页

摘　　要：原子力显微镜(Atomic Force Microscope,缩写为AFM)有着对环境和样品要求低的优势,弥补了原先扫描隧道显微镜的不足,其应用范围越来越广。本文通过比较不同的音叉与压电陶瓷的粘接方法,选择了音叉品质因子Q值高的方案,使音叉对幅值变化的感知更加灵敏,在扫描过程中可以在更短的时间内控制探针位置,提高了扫描效率。同时,该显微镜所成图像能清楚对应样品表面凹槽走势,全面直接反映样品表面样貌。

关 键 词：原子力显微镜 音叉品质因子 探针配 

分 类 号：TH73[机械工程—仪器科学与技术]