半导体制造设备自动化作业系统设计研究  

作　　者：刘乐 

机构地区：[1]国家知识产权局专利局半导体节能器件处,北京100000

出　　处：《通讯世界》2024年第12期31-33,共3页Telecom World

摘　　要：随着半导体制造工艺的不断升级和复杂化,传统人工操作模式及低效自动化系统已经无法满足高精度、高效率和大规模生产需求。为满足当前半导体制造过程中对高可靠性、灵活性及智能化设备控制的迫切需求,分析半导体制造设备的类型以及自动化作业系统的应用优势,提出模块化的设计思路,将半导体制造设备自动化作业系统划分为4个核心模块,提升半导体制造设备的可维护性、扩展性和运行效率,以期为相关人员提供参考。

关 键 词：半导体制造设备 自动化作业系统 模块化 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学]