真空镀膜中电阻加热式蒸发舟活动电极  

出　　处：《表面技术》2002年第6期75-75,共1页Surface Technology

关 键 词：真空镀膜 电阻加热式 蒸发舟 活动电极 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 电极柱 

分 类 号：TG174.444[金属学及工艺—金属表面处理]