130万像素数字化微光EBAPS器件及组件  

1.3 Megapixel Digital Low-light EBAPS Device and Module

作　　者：王东辰 徐鹏霄 王艳 伍伟 唐光华[1] WANG Dongchen;XU Pengxiao;WANG Yan;WU Wei;TANG Guanghua(Nanjing Electronic Devices Institute,Nanjing,210016,CHN)

机构地区：[1]南京电子器件研究所,南京210016

出　　处：《固体电子学研究与进展》2024年第6期F0003-F0003,共1页Research & Progress of SSE

摘　　要：数字化微光电子轰击有源像素传感器(Electron bombarded active-pixel sensor,EBAPS)是继超二代、三代微光像增强器之后的下一代数字化微光探测核心器件。EBAPS器件兼顾了真空光电器件的低暗发射、高增益特性与半导体CMOS图像传感器高集成度、数字化输出特性。适用于极低照度(10^(-5) lx)探测,可满足全天候工作(10^(-5)~10^(5)lx)、高分辨力数字化成像的应用需求。EBAPS器件研制技术及工程化应用技术是国内外微光传感器领域研究的热点。南京电子器件研究所自主开发的130万像素数字化微光EBAPS器件及组件,依托高性能真空光电探测器件工艺平台。

关 键 词：CMOS图像传感器 有源像素传感器 传感器领域 光电探测器件 数字化成像 电子轰击 微光探测 增益特性 

分 类 号：TP2[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]