金属和合金的二次离子质谱成像  

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作  者:Yanjie Shen Logan Howard Xiao-Ying Yu 齐岳峰(译) 

机构地区:[1]不详 [2]北京有色金属与稀土应用研究所有限公司

出  处:《有色金属与稀土应用》2024年第3期9-27,共19页Non-Ferrous Metals & Rareearth

摘  要:二次离子质谱(SIMS)是一种出色的质谱成像(MSI)技术,具有高灵敏度、选择性和高动态范围等显着优势。因此,SIMS已被应用于许多科学领域。在这篇综述中,我们深入概述了SIMS的基本原理,随后介绍了SIMS仪器的最新发展。此次审查涵盖了特定SIMS仪器的各种应用,特别是作为广泛使用的平台的静态SIMS和飞行时间SIMS(ToF-SIMS),以及动态SIMS和纳米SIMS和大几何形状SIMS作为成功的仪器。我们特别关注SIMS在金属和合金作为感兴趣材料的微量分析和成像中的实用性。此外,我们讨论了SIMS大数据分析中的挑战,并给出了机器学习(ML)和人工智能(AI)的示例,以进行有效的MSI数据分析。最后对SIMS的发展前景进行了展望。预计原位和操作SIMS通过在动态转变过程中实现材料表面和界面的实时检查,有可能显着增强金属和合金的研究。

关 键 词:二次离子质谱普(SIMS) 静态SIMS 动态SIMS 成像 金属 合金 

分 类 号:TG1[金属学及工艺—金属学]

 

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