微小型光谱分析仪器研究进展  

Research progress of micro spectrometer

作　　者：吴朋 WU PENG(Chongqing Chuanyi Automation Co.Ltd.,Chongqing 401121,China)

机构地区：[1]重庆川仪自动化股份有限公司,重庆401121

出　　处：《自动化与仪器仪表》2023年第S1期1-5,共5页Automation & Instrumentation

基　　金：国家科技部重大科学仪器设备(2018YFF01011200):微型集成扫描光栅微镜关键技术及产业化

摘　　要：微小型光谱仪具有低成本、高性能、便于二次开发等特点,有利于光谱分析技术的推广应用及快速发展,是当前世界各国研究的热点。综述了多种类型的微小型光谱仪器原理、研究进展及优缺点,展望了微小型光谱仪的发展趋势。Micro spectrometers have the characteristics of low cost,high performance and convenient secondary development,which is conducive to the popularization and rapid development of spectral analysis technology.This pa⁃per summarizes the principle,research progress,advantages and disadvantages of various types of miniature spectrome⁃ters,and looks forward to the development trend of miniature spectrometers.

关 键 词：光谱分析技术 MOEMS技术 微小型光谱仪 

分 类 号：TH86[机械工程—仪器科学与技术]