量子级联激光技术在零空气检测中的运用研究  

Research on the Application of Quantum Cascade Laser Technology in Zero Air Detection

作　　者：史苏娟 王瑞 董亮华 SHI Sujuan;WANG Rui;DONG Lianghua

机构地区：[1]苏州市计量测试院

出　　处：《计量与测试技术》2025年第1期33-35,39,共4页Metrology & Measurement Technique

基　　金：江苏省市场监督管理局科技项目(项目名称:超纯零气发生器的气体检测技术研究,项目编号:KJ2023058)。

摘　　要：本文基于量子级联激光光谱技术在痕量气体检测中的应用,研制了一种零空气发生器气体检测装置,并对零空气中的痕量气体(NO、NO_(2)、CO、CO_(2))进行检测验证。结果表明:该装置可对超纯零气发生器产生的痕量多组份超纯气体的PPb级(10^(-9))进行检测。In this paper,based on the application of quantum cascade laser spectroscopy in trace gas detection,a zero-air generator gas detection device is developed,and trace gases(NO、NO_2、CO、CO_2) in zero air are detected and verified.The results show that the device can detect the PPb level(10~(-9)) of trace multi-component ultra-pure gas produced by the ultra-pure zero gas generator.

关 键 词：量子级联激光光谱技术 超纯零气发生器 装置设计与应用 

分 类 号：O65[理学—分析化学]