半导体设备用堇青石陶瓷材料研究进展  

作　　者：张露 

机构地区：[1]不详

出　　处：《中国粉体工业》2025年第1期25-27,24,共4页China Powder Industry

摘　　要：近年来,随着半导体行业的发展,集成电路制备精度日益提高,堇青石陶瓷凭借其在近室温下无与伦比的可调节的热膨胀性能、出色的可加工性和表面抛光性,以及较高的比刚度等特性,成为半导体设备中不可或缺的结构材料。本文简述了堇青石性能特点,综述了堇青石的制备方法,探讨了堇青石在半导体领域中的应用前景。

关 键 词：堇青石 半导体 制备方法 

分 类 号：TQ1[化学工程]