一种高密度线性电容及其制备方法、图像传感器  

出　　处：《传感器世界》2025年第2期49-49,共1页Sensor World

摘　　要：申请号:202411730551.3。【申请日】2024.11.29。【公开号】CN119233751A。【公开日】2024.12.31。【分类号】H10N97/00;H01L27/146;H01L29/94;H01L21/329。【申请人】复旦大学;嘉善复旦研究院。【发明人】尹睿;梅健;邓磊;闫娜;张卫。【摘要】本发明提供一种高密度线性电容及其制备方法、图像传感器,包括:提供基础电容结构;在基础电容结构的顶部形成功能柱,以将基础电容结构的顶部分为第一区域和第二区域;在第一区域和第二区域中形成多层堆叠的扩展电容结构。

关 键 词：图像传感器 分类号 功能柱 电容 

分 类 号：TP2[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]