Parylene真空气相沉积工艺技术  

作　　者：何燕春[1] 代文龙 袁莓婷 

机构地区：[1]中航工业西安航空计算技术研究所

出　　处：《中国军转民》2025年第6期54-55,共2页

摘　　要：本文研究分析了Parylene材料各型号特点并对比其优劣势,通过材料性能分析、涂层三防性能试验等验证了Parylene真空气相沉积工艺的优异性,同时从生产工艺出发分析了Parylene真空气相沉积工艺实施难点、问题,并给出实际解决方案。

关 键 词：真空气相沉积 Parylene材料 三防涂层 

分 类 号：TB3[一般工业技术—材料科学与工程]