激光跟踪干涉仪在坐标测量机直线度测量中的应用  

Application of Laser Tracking Interferometer in Straightness Measurement of Coordinate Measuring Machine

作　　者：郭文波 GUO Wenbo

机构地区：[1]广州计量检测技术研究院

出　　处：《计量与测试技术》2025年第3期45-47,共3页Metrology & Measurement Technique

基　　金：广州市NQI-质量安全科技协同创新中心开放基金资助(项目名称:激光跟踪干涉仪在空间几何精度全参数高精度检测中的应用研究,项目编号:2023B04J0407)。

摘　　要：坐标测量机直线度的测量通常使用激光干涉仪或自准直仪。本文采用激光跟踪干涉仪进行测量,并进行实验验证。结果表明:该干涉仪具有可行性和可靠性。The straightness of a coordinate measuring machine is usually measured by laser interferometer or autocollimator.In this paper,laser tracking interferometer is used for measurement and experimental verification.The results show that the interferometer is feasible and reliable.

关 键 词：激光跟踪干涉仪 直线度 坐标测量机 

分 类 号：TH7[机械工程—仪器科学与技术]