冷氢化工艺中四氯化硅汽化方式的比较  

作　　者：杜宇 

机构地区：[1]上海湛为气体有限公司

出　　处：《石油石化物资采购》2025年第5期16-18,共3页Petroleum & Petrochemical Material Procurement

摘　　要：在进行工业生产过程中,多晶硅生产是其中最为重要的一项内容,其可被应用于多个行业与领域之中,研究人员与技术人员对此进行深入研究与分析,提出冷氢化工艺。利用冷氢化工艺可进行多晶硅生产,其中四氯化硅汽化是生产流程之一,汽化方式较多,分别具有不同的优势与价值。本文以此为基础,对冷氢化工艺中四氯化硅汽化方式进行讨论,并进行比较与分析,以期为多晶硅生产与设计提供技术支持与理论支持,降低成本支出的同时,保证生产的经济效益与社会效益。

关 键 词：冷氢化工艺 四氯化硅 汽化方式 比较分析 

分 类 号：TQ127[化学工程—无机化工]