基于不同应用场景的含氟电子特气工艺优化与纯度控制研究  

作　　者：申桂贤 宗继奎 

机构地区：[1]山东重山光电材料股份有限公司

出　　处：《石油石化物资采购》2025年第5期238-240,共3页Petroleum & Petrochemical Material Procurement

摘　　要：本研究针对不同应用场景下的含氟电子特气工艺优化与纯度控制,探讨如何提升气体的纯度和生产效率。研究采用了低温精馏、吸附分离和膜分离等多种技术,提升含氟电子特气的纯度,达到99.99%以上的纯度标准。适当的温度、压力和反应时间控制可有效提高气体的纯度,减少杂质含量,满足半导体、OLED显示器和太阳能电池等高科技行业的需求。因此,工艺优化和新型环保气体的开发是未来提升含氟电子特气生产效率和环保特性的关键。

关 键 词：含氟电子特气 纯度控制 工艺优化 低温精馏 吸附分离 膜分离 环保气体 

分 类 号：TQ116.2[化学工程—无机化工]