新的摩尔定律机器  

出　　处：《科技纵览》2025年第1期41-41,共1页IEEE Spectrum

摘　　要：极紫外光光刻(EUV)技术是制造最先进的计算机芯片所必需的工具,这项技术在行业应用也仅仅5年时间。然而,芯片行业已经迫切需要下一代技术了,也就是高数值孔径(NA)极紫外光光刻技术。该技术通过扩大系统可操控光线的角度范围,进一步提高分辨率。

关 键 词：高数值孔径 EUV技术 极紫外光光刻 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学] TN405