区熔多晶硅高压启动系统设计  

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作  者:刘建中 

机构地区:[1]陕西有色光电科技有限公司,陕西咸阳712038

出  处:《机电信息》2025年第8期48-50,共3页

摘  要:区熔级多晶硅在液晶显示器、新能源、半导体等产品生产过程中应用广泛,但国内基本依赖进口。鉴于此,结合区熔多晶硅生产的工艺特点,介绍了其电源系统,重点分析设计了一套适应生产区熔多晶硅的高压击穿系统。

关 键 词:区熔多晶硅 电源系统 击穿系统 

分 类 号:TM502[电气工程—电器]

 

参考文献:

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