玻璃烧结连接器氧化膜及预氧化工艺研究  

Research on Oxide Film and Pre-oxidation Process of Glass Sintered Connector

作　　者：殷萍萍 吴梓妍 YIN Pingping;WU Ziyan

机构地区：[1]不详

出　　处：《机电元件》2025年第2期22-25,35,共5页Electromechanical Components

摘　　要：本文主要针对封接氧化膜形成的机理、氧化膜不良造成漏气的机理进行阐述,对氧化膜形成的关键因素进行分析,探索氧化膜控制的关键工艺参数,使氧化膜能够满足封接的要求。

关 键 词：氧化膜 封接 预氧化 

分 类 号：TP391.9[自动化与计算机技术—计算机应用技术]