氧化铝陶瓷部件:驱动半导体设备千亿级市场的核心材料  

出　　处：《中国粉体工业》2025年第2期52-53,51,共3页China Powder Industry

摘　　要：氧化铝陶瓷部件具有高硬度、高机械强度、超耐磨性、耐高温、电阻率大、电绝缘性能好等优异性能,能满足真空、高温等特殊环境下的半导体制造复杂性能要求,在半导体制造生产线上有着不可替代的重要作用,其应用几乎覆盖所有半导体制造设备,是半导体生产设备的关键部件。随着半导体产业的不断发展,氧化铝陶瓷部件在产业链的重要性将更加凸显。

关 键 词：氧化铝陶瓷 半导体设备 关键材料 

分 类 号：TQ174.75[化学工程—陶瓷工业]