二维定心激光扫描器及其摆角测量系统的研制  

Design and experiment of a 2 DOF laser scanner and deflection angle measurement system

作　　者：程继伟[1] 巩马理[1] 刘兴占[1] 贾维溥[1] 闫平[1] 张海涛[1] 

机构地区：[1]清华大学精密仪器系数字光电子实验室,北京100084

出　　处：《光学技术》2003年第2期136-138,共3页Optical Technique

摘　　要：简要介绍了一种二维定心偏转激光扫描器的工作原理和结构设计。对二维摆角的两种不同测量方式的优劣进行了比较,并详细介绍了采用光电位置传感器(PSD)实现摆角测量的系统,包括它的测量原理、光学系统构造和PSD后续信号处理电路。结果表明,所研制的二维定心激光扫描器摆角测量系统可以实现±7.5°的二维摆角和30°圆锥角的大范围扫描,其重复精度为0 05°,分辨率为0 01°。具有快速灵巧、实时性强、工作稳定、抗环境干扰能力强等优点。The principle and structure design of a 2 DOF tip/tilt laser scanner is introduced, and two different methods to measure the 2 DOF deflection angle are compared. The aspects of the measurement system using PSD are discussed, including its basic principle, optical system and signal processing circuit. The system now can reach a side scanning range of 30° with resolution of 0.01°.

关 键 词：二维定心激光扫描器 摆角测量系统 研制 PSD 

分 类 号：TN24[电子电信—物理电子学]