TDR-70A型单晶炉的维护与常见故障分析  

TDK - 70A crystal growth equipment' s maintenance

作　　者：李留臣[1] 杨润[1] 

机构地区：[1]西安理工大学,西安710048

出　　处：《电子工业专用设备》2003年第1期51-56,共6页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：随着大规模集成电路和太阳能光伏电池的飞速发展,越来越多的TDR-70A型单晶炉投入了市场应用,为了充分发挥设备的能力,有必要对设备的维护及故障的排除有更深的了解,结合设备的结构特点阐述了TDR-70A型单晶炉的维护与常见故障分析,供大家参考。As a result of big size IC and solar recover cell speediness development, more and more TDR - 70A crystal growth equipment jump in market. For equipment capability exert, the equipment' s maintenance must needs. The paper expounds TDR - 70 A crystal growth equipment s maintenance, for reference to consumer.

关 键 词：TDR-70A型 单晶炉 维护 人工晶体 故障维修 硅单晶生产设备 

分 类 号：TN304.12[电子电信—物理电子学] TF806.9[冶金工程—有色金属冶金]