影响XeCl准分子激光器寿命的因素  

The Factors Affecting the Lifetime of XeCl Excimer Laser

作　　者：邓光明[1] 吴旭峰[1] 凌一鸣[1] 

机构地区：[1]东南大学电子工程系,南京210096

出　　处：《电子器件》2003年第1期75-79,共5页Chinese Journal of Electron Devices

摘　　要：准分子激光器的推广应用与其寿命的改善有着很密切的关系。现以XeCl准分子激光器为例讨论了对激光器寿命影响比较大的两大因素The improvement of lifetime plays important role in application and popularization of excimer lasers.Examplfying the discharge pumped XeCl excimer lasers, the laser charmber and the fast switch which have strong influence on excimer laser lifetime has been discussed.

关 键 词：准分子激光器 寿命 气体污染 高速放电开关 

分 类 号：TN242[电子电信—物理电子学]