YIG薄膜制备方法研究  

Research on Methods of Formation of YIG Films

作　　者：梁军[1] 张溪文[1] 张守业[1] 韩高荣[1] 

机构地区：[1]浙江大学硅重点实验室,杭州310027

出　　处：《材料导报》2003年第1期21-23,26,共4页Materials Reports

基　　金：国家自然基金赞助(60077006)

摘　　要：就工艺,测试结果,性能等方面综述了钇铁石榴石YIG(Yttrium Iron Garnet)薄膜的制备方法,包括Sol-Gel、CVD、溅射、PLD、LPE等。从YIG复合薄膜的制备、基片选择等角度,提出通过提高YIG薄膜制品的磁光性能从而改善磁光器件整体性能的新思路。This paper summarizes methods of formation of YIG thin film,including Sol-Gel,CVD,sputter, PLD,LPE,compares the methods in terms of formation procedure measurement technique and magnet-optical properties,and discusses the possibility of improving magnet-optical properties by YIG combining thin films and the alternation of the substrate

关 键 词：YIG薄膜 制备方法 法拉第旋转角 复合薄膜 钇铁石榴 磁光材料 结构 性能 铁氧体 化学法 物理化学法 

分 类 号：TM277[一般工业技术—材料科学与工程] TB43[电气工程—电工理论与新技术]