Ti和TC4等离子沉积硼化物层  

作　　者：蒲正利 

出　　处：《稀有金属快报》2003年第2期24-24,共1页Rare Metals Letters

关 键 词：等离子沉积 硼化物层 钛 四氯化钛 

分 类 号：TG174.442[金属学及工艺—金属表面处理]