中心波长为28.5nm多层膜镜反射率测量  

The reflectivity measurement of the 28.5nm multilayer mirror

作　　者：黄文忠[1] 李英骏[2] 谷渝秋[1] 张杰[2] 尤永禄[1] 淳于书泰[1] 何颍玲[1] 雷安乐[1] 陈正林[1] 马月英[3] 金春水[3] 

机构地区：[1]中国工程物理研究院激光聚变研究中心,绵阳621900 [2]中国科学院物理研究所 [3]中国科学院长春光学精密机械和物理研究所,长春130022

出　　处：《物理学报》2003年第4期809-812,共4页Acta Physica Sinica

基　　金：国家自然科学基金 (批准号 :199740 74和 60 180 0 7);国家高技术研究发展计划资助的课题~~

摘　　要：在“星光 Ⅱ”装置上以类Ne铬x射线激光作为标定源 ,以平场光栅谱仪为分光元件进行了 2 8 5nm的Mo Si多层膜反射镜效率测量 .介绍了实验方法 ,给出了实验结果 ,本次研制的两块多层膜镜反射率分别为 3 1%和 9.6 % .The reflectivity of the 28.5nm Mo/Si multilayer mirrors are measured at Xingguang-II laser facility using a flat-field grating spectrograph with the Ne-like Cr x-ray laser as a soft x-ray source. The reflectivities obtained for two samples are 0.031 and 0.096.

关 键 词：X射线多层膜反射镜 反射率测量 X射线激光 实验研究 

分 类 号：O484.41[理学—固体物理]