气相质子交换LiTaO3光波导及其特性  

作　　者：邓文渊[1] 李玉善[2] 马少杰[1] 鄂书林[2] 

机构地区：[1]中国科学院长春光学机密机械与物理研究所激发态物理重点实验室，130022 [2]应用光学国家重点实验室，长春130022

出　　处：《光子学报》2002年第0Z2期129-132,共4页Acta Photonica Sinica

摘　　要：本文利用苯甲酸气相质子交换技术制备了LiTaO3光波导，测量了Z-切LiTaO3光波导的参数（交换深度d和表面折射率增量△nc）和X-切LiTaO3光波导的红外吸收谱，给出了光波导层的折射率分布，并与液相质子交换热退火光波导的结果进行了比较。实验结果表明：非寻常折射率分布与热退火液相质子交换方法制备的LiTaO3光波导基本相近，但表面非寻常折射率增量（△nc）更大，其折射率分布更接近于高斯型。

关 键 词：气相质子交换 LITAO3晶体 光波导 钛酸锂晶体 折射率分布 波导参数 气相压 热退火处理 特性 

分 类 号：TN252[电子电信—物理电子学]