膜厚控制误差对软X射线多层膜性能影响的分析  

Effect of film thickness errors on performance of soft X-ray multilayer

作　　者：王占山[1] 

机构地区：[1]同济大学精密光学工程技术研究所物理系,上海200092

出　　处：《光学精密工程》2003年第2期136-138,共3页Optics and Precision Engineering

基　　金：国家自然科学基金资助项目(No.60178021);上海市科技发展基金项目(No.022261049)

摘　　要：针对影响多层膜性能的关键因素———膜厚控制误差进行了全面的分析计算,指出影响多层膜性能的主要误差是仪器本身的系统偏差,它使多层膜的峰值反射波长偏离设计值,使得制作出的多层膜无法满足要求;镀膜过程中的随机误差使多层膜的反射率降低,但不影响多层膜峰值反射率波长的位置,因此,在制作多层膜过程中,不但要严格控制镀膜时的系统误差,而且要控制随机误差。The effect of film thickness control errors on the performance of soft X_ray multilayer is discussed in detail. The results show that the primary error is a systemic error of the instrument itself which causes the peak of reflectivity change and the secondary error is a stochastic error which control decreases the magnitude of reflectivity.

关 键 词：软X射线 多层膜 膜厚控制误差 反射率 反射镜 

分 类 号：TH74[机械工程—光学工程] TB43[机械工程—仪器科学与技术]