计算机辅助微技术设计  

Computer aided design in microtechnology

作　　者： Ulli Hansen Hans-Jochamin Franke Stephanus Büttgenbach 桂贵生(译) 刘全坤(译校)[4] 

机构地区：[1]不详 [2]Braunschweig工业大学设计学,机械零件和精密零件研究所 [3]合肥工业大学机械与汽车工程学院 [4]合肥工业大学研究生部,230009

出　　处：《工程设计学报》2003年第2期62-65,共4页Chinese Journal of Engineering Design

摘　　要：微机构和微系统设计需要综合应用许多不同的制造工艺,因而是非常复杂的.介绍了用于计算机辅助微技术设计的系统,它综合工艺描述工具,并将其输出存储在全程数据模型中.Design of micro components and systems is very complex due to the combination of many different production technologies. This article describes a system for computer aided design in microtechnology, which summarizes tools that simulate the technology. It stores their outputs in a data model which contains the entire information about a micro system.

关 键 词：计算机辅助微技术设计 微机构 硅基微系统 数据储存 

分 类 号：TH122[机械工程—机械设计及理论] TP391.72[自动化与计算机技术—计算机应用技术]