薄膜弹性模量的若干测试方法及其适用性分析  

作　　者：黄莉[1] 宋显辉[1] 钱红兵[2] 

机构地区：[1]武汉理工大学理学院工程结构与力学系,武汉,430070 [2]武汉华中数控股份有限公司,武汉,430070

出　　处：《实验技术与管理》2003年第2期94-96,105,共4页Experimental Technology and Management

摘　　要：薄膜科学是一门涉及物理、化学、电子学、材料、力学等诸多学科的边缘学科.目前为止,有关膜的力学性能的研究工作尚未开展的部分还很多,对膜的弹性模量,也没有得到很多这方面的数据.本文列出了几种测试膜弹性模量的方法,并给出了一种将镀膜试样作为层合薄板,利用其弯曲时挠度与载荷的关系计算膜弹性模量的方法,同时对这几种方法的适用性作了适当的分析与比较.

关 键 词：薄膜测试 弹性模量 测试方法 适用性 

分 类 号：O484.5[理学—固体物理] TB43[理学—物理]