单片式PtSi肖特基势垒IR-ITCCD焦平面列阵  

Monolithic PtSi Schottky-Barrier Infrared Interline Transfer CCD Focal Plane Arrays

作　　者：杨亚生[1] 

机构地区：[1]重庆光电技术研究所,重庆永川632163

出　　处：《红外技术》1992年第3期23-38,共16页Infrared Technology

摘　　要：本文介绍了PtSi肖特基势垒IRCCD的工作原理,评述了国外硅化物肖特基势垒红外焦平面列阵的发展,重点阐述了已制成的64×64、128×128元PtSi肖特基势垒IR-ITCCD焦平面列阵的结构与设计思想。The principle of PtSi Schottky-barrier IRCCD and the development of silicide Schottky-barrier infrared focal plane arrays are reviewed. The structure and design of 64×64, 128×128 elements PtSi Schottkybarrier IR-CCD focal plane arrays fabricated in this lab arc reported.

关 键 词：肖特基势垒 探测器 ITCCD 焦平面 

分 类 号：TN361[电子电信—物理电子学]