特种微细加工的现状及应用  

The Present State of Special Microfabrication and their Applications

作　　者：荣烈润 

机构地区：[1]上海市静安区业余大学,上海200040

出　　处：《机电一体化》2003年第3期6-9,共4页Mechatronics

摘　　要：本文论述了主要特种微细加工的原理、特点、现状及其应用。In this paper, the principle, the characteristic, present state of chief special microfabrication and their applications are presented.

关 键 词：特种微细加工 电火花微细加工 离子束微细加工 激光微细加工 超声微细加工 

分 类 号：TG66[金属学及工艺—金属切削加工及机床]