溶胶凝胶法制备SiO_2/TiO_2多层膜工艺研究  被引量:1

Preparation of TiO_2/SiO_2 Multilayer Films Via Sol-Gel Methods

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作  者:杨帆[1] 沈军[1] 吴广明[1] 孙骐[1] 李小丽[1] 张志华[1] 付甜[1] 

机构地区:[1]同济大学,上海200237

出  处:《安阳师范学院学报》2003年第2期31-34,共4页Journal of Anyang Normal University

基  金:国家自然科学基金项目;面上项目(20133040;69978017)

摘  要:采用溶胶-凝胶工艺,使用旋涂方法在单晶硅片、石英玻璃和K9玻璃上制备SiO2/TiO2系列多层膜。采用椭偏仪、透射电镜等对所制得的多层膜的性能进行了研究。结果表明实验条件对SiO2/TiO2多层膜的制备非常重要。通过对实验条件的改善与优化,可以镀制出性能优良的SiO2/TiO2多层膜,以用于微型谐振腔、滤光片、一维光子晶体和传统的光学高反膜的研究。SiO2/TiO2 multilayer films on silicon, quartz, K9 glass wafer were obtained by sol-gel process and spin-coating technique. The properties of the multilayer films were studied with ellipse-polarization-light thickness measurement and TEM. The results showed that the experiment condition was crucial for the preparation of the SiO2/TiO2 multilayer films. High quality SiO2/TiO2 multilayer films could be obtained by improve the experiment condition, which could be applied in microcavities, light filter, photon crystal and high reflect film.

关 键 词:SiO2/TiO2多层膜 制备工艺 溶胶-凝胶法 旋涂方法 光学高反膜 薄膜性能 

分 类 号:O484.41[理学—固体物理]

 

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