一种用于极紫外多层膜反射率测量的平台  

Platform for Measuring the Reflectivity of EUV Multiplayer Films

作　　者：解滨[1] 尼启良[1] 巩岩[1] 曹继红[1] 陈波[1] 

机构地区：[1]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130022

出　　处：《测试技术学报》2003年第2期138-140,共3页Journal of Test and Measurement Technology

摘　　要：一种用于紫外多层膜反射率测量的样品台 ,由步进电机驱动 .其构成由三个部分 :机械系统 ,计算机控制系统 ,单片机控制系统 .最后对极紫外多层膜进行了测量 ,结果显示该系统满足使用要求 。A platform is introduced to measure the reflectivity of multiplayer films in EUV band. Three main composing parts are mechanical system, computer controlling system and micro processing unit system. The experimental results indicate that the system meets the application requirement and works reliably.

关 键 词：极紫外多层膜 反射率 步进电机 测量平台 机械系统 计算机控制系统 单片机控制系统 

分 类 号：O484.41[理学—固体物理] TP274[理学—物理]