射频微机械共面波导开关测试技术研究  

A Study on the Test Technique for RF MEMS CPW Switch

作　　者：张正元[1] 肖坤光[2] 徐世六[2] 张正璠[2] 欧益宏[2] 温志渝[1] 

机构地区：[1]重庆大学光电工程学院,重庆400044 [2]中国电子科技集团公司第二十四研究所

出　　处：《微电子学》2003年第1期12-14,18,共4页Microelectronics

摘　　要：　通过对射频微机械共面波导(CPW)开关的工作原理进行分析,提出了一种测试射频微机械开关的电路结构。根据Cadence工作站的模拟,验证了该方案的可行性,并获得了该测试结构的优化电参数条件,为射频微机械CPW开关的测试和应用打下了基础。A test method for radio frequency MEMS coplanar waveguide ( CPW) switch is presented based on the analysis of its operational principle Simulation indicates that this method is applicable for testing micromachined RF CPW switches Optimizing conditions for the test structure are obtained 

关 键 词：射频微机械 共面波导开关 金属膜 CPW 工作原理 

分 类 号：TN25[电子电信—物理电子学]