低能原子簇轰击金薄膜的分子动力学模拟  

THE MOLECULAR DYNAMICS SIMULATION OF LOW ENERGY CLUSTERS IMPACTING ON GOLD THIN FILMS

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作  者:潘正瑛[1] 

机构地区:[1]中科院上海冶金所离子束开放实验室,复旦大学物理二系上海200433

出  处:《计算物理》1992年第A02期719-720,共2页Chinese Journal of Computational Physics

基  金:国家自然科学基金

摘  要:本文基于分子动力学模拟研究铝原子簇和碳原子簇轰击金薄膜的碰撞级联过程。注入原子簇的初始能量为(0.1~0.2)keV/atom。文中计算了薄膜中金原子的反冲能谱随时间的变化。结果表明,原子簇轰击后,金原子的反冲能量可高于两倍的两体碰撞最大反冲动能。该效应可用原子簇中原子与靶原子的多次碰撞及运动原子间的碰撞解释。The aluminum and carbon clusters impacting on gold thin films have been studied by molecular dynamics (MD) simulation. The initial energies are 0.1-0.2keV per atom. The energy spectra of target recoil atoms have been calculated as a function of time. It was shown that the target atoms may achieve more than twice of the maximum recoil energy in a single elastic collision. The effect has been traced to multiple hits by cluster atoms and the collisions between moving atoms.

关 键 词:碰撞 原子束  模拟 族束注入 

分 类 号:O562[理学—原子与分子物理]

 

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