Al_2O_3与TiO_2混合离子镀过程中工艺参数对涂层性能的影响  

EFFECTS OF TECHNICAL PARAMETERS DURING ION-PLATING PROCESS ON PROPERTIES OF COATING

作　　者：肖李鹏[1] 熊国刚[1] 李恩平[1] 

机构地区：[1]中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,四川绵阳621900

出　　处：《腐蚀与防护》2003年第6期252-253,共2页Corrosion & Protection

摘　　要：讨论了在采用离子镀获得Al2 O3 与TiO2 混合涂层工艺过程中 ,真空度、基片偏压。In this paper the effects of main technical parameters during ion plating process on the properties of the coating are discussed.

关 键 词：反应离子镀 结合强度 沉积速率 

分 类 号：TG174.444[金属学及工艺—金属表面处理]