FEA用的非晶态金刚石碳薄膜  

作　　者：季旭东[1] 

机构地区：[1]华东电子集团公司，南京210028

出　　处：《光电技术》2003年第2期41-43,共3页

摘　　要：文章对用于FEA的非晶态金刚石碳膜的制备、测量、场致发射特性以及发射性能改良的掺氧非晶态金刚石碳薄膜作了介绍。

关 键 词：FEA 非晶态金刚石碳薄膜 场致发射阵列 掺氧 场致发射显示器件 

分 类 号：TN383.1[电子电信—物理电子学]