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机构地区:[1]东北大学材料与冶金学院,辽宁沈阳110004
出 处:《微纳电子技术》2003年第9期26-28,共3页Micronanoelectronic Technology
摘 要:首次采用醇盐水解沉淀法制备出粒度为40nm、颗粒均匀的球型二氧化硅粒子,并利用X射线衍射、透射电镜对粒子的性能进行了测试。讨论了温度、催化剂浓度、洗涤剂种类等对二氧化硅最终粒径及水解反应速率的影响。结果表明,在本文实验条件下,醇盐水解沉淀法是制备纳米二氧化硅粒子的有效方法。We have prepared SiO 2 nanoparticles with mean diameters of40nm,and the proper-ties of SiO 2 nanoparticles are studied by X-ray diffraction spectra,and transmission el ectron mi-crospectra.The influence of catalyst concentration,types of washing solvent and temperature on the diameters of SiO 2 and the rate of hydrolysis reaction are discussed.The results show that alk oxide hydrolysis precipitation method is an available method to prepare SiO 2 nanoparticles un-der this condition.
关 键 词:醇盐水解沉淀法 纳米粉 二氧化硅 水解反应速率 制备工艺
分 类 号:TB383[一般工业技术—材料科学与工程] TF123[冶金工程—粉末冶金]
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