理想静电传感器的大信号等效电路宏模型  

A Large-Signal Macromodel for the Equivalent Circuits Representation of a Ideal Electrostatic Sensor

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作  者:闻飞纳[1] 李伟华[1] 戎华[1] 

机构地区:[1]东南大学微电子中心MEMS教育部重点实验室,南京210096

出  处:《电子器件》2003年第3期283-286,共4页Chinese Journal of Electron Devices

基  金:国家863计划资助项目(课题编号:2002AA404010);教育部重大项目(重大0216)

摘  要:从MEMS器件的机电耦合关系式出发,采用关系式各项与电路相对应的方法,研究了刚性平行极板纵向运动静电换能器的大信号等效电路的宏模型,其中利用了SPICE中的多项式受控源的形式来简化等效电路结构。对带有此刚性极板结构的集总参数的理想静电传感器进行系统级模拟,并对所建立的传感器大信号等效电路宏模型进行了分析及验证。Derived from the electromechanical coupling relationship, a large-signal macromodel for the equivalent circuit representation of rigid parallel transverse plates is studied with the approach that each polynomial corresponds to related circuits. The polynomial controlled sources of SPICE are used to simplify the equivalent circuit structure. System-level simulations are then carried out for a lumped-parameter ideal electrostatic sensor which contains the rigid plates. Analysis and verification are then given out.

关 键 词:受控源 大信号等效电路 宏模型 理想静电传感器 

分 类 号:TP212.1[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

 

参考文献:

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二级参考文献:

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耦合文献:

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引证文献:

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