检索规则说明:AND代表“并且”;OR代表“或者”;NOT代表“不包含”;(注意必须大写,运算符两边需空一格)
检 索 范 例 :范例一: (K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 范例二:J=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT M=Visual
机构地区:[1]东南大学微电子中心MEMS教育部重点实验室,南京210096
出 处:《电子器件》2003年第3期283-286,共4页Chinese Journal of Electron Devices
基 金:国家863计划资助项目(课题编号:2002AA404010);教育部重大项目(重大0216)
摘 要:从MEMS器件的机电耦合关系式出发,采用关系式各项与电路相对应的方法,研究了刚性平行极板纵向运动静电换能器的大信号等效电路的宏模型,其中利用了SPICE中的多项式受控源的形式来简化等效电路结构。对带有此刚性极板结构的集总参数的理想静电传感器进行系统级模拟,并对所建立的传感器大信号等效电路宏模型进行了分析及验证。Derived from the electromechanical coupling relationship, a large-signal macromodel for the equivalent circuit representation of rigid parallel transverse plates is studied with the approach that each polynomial corresponds to related circuits. The polynomial controlled sources of SPICE are used to simplify the equivalent circuit structure. System-level simulations are then carried out for a lumped-parameter ideal electrostatic sensor which contains the rigid plates. Analysis and verification are then given out.
分 类 号:TP212.1[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
正在载入数据...
正在载入数据...
正在载入数据...
正在载入数据...
正在载入数据...
正在载入数据...
正在载入数据...
正在链接到云南高校图书馆文献保障联盟下载...
云南高校图书馆联盟文献共享服务平台 版权所有©
您的IP:216.73.216.249