扫描探针显微镜在纳米加工中的应用  

Application of Scanning Probe Microscopy in Nanofabrication

作　　者：孙旭平[1] 张柏林[1] 汪尔康[1] 

机构地区：[1]中国科学院长春应用化学研究所电分析化学国家重点实验室,长春130022

出　　处：《分析化学》2003年第9期1127-1130,共4页Chinese Journal of Analytical Chemistry

基　　金：国家自然科学基金资助项目 (No .2 0 2 75 0 3 7)

摘　　要：扫描探针显微镜不仅能对材料表面形貌进行原子级观测 ,还能够对单个的分子、原子及纳米粒子进行操纵。本文综述了扫描探针显微镜在纳米加工中对自组装单层膜的扫描探针刻蚀以及“蘸写笔”Scanning probe microscopy is used not only to obtain atomic resolution surface topography of materials but also to manipulate single atom, molecule and nanoparticle. This article reviews some applications of scanning probe microscopy in nanofabrication including scanning probe lithograpgy of self-assembly monolayers and dip-pen technology. 40 papers are cited.

关 键 词：扫描探针显微镜 纳米加工 纳米图案 纳米技术 材料表面 自组装 

分 类 号：TH742[机械工程—光学工程]