磁盘伺服图形光刻机主轴稳速系统设计  

Design of the Spindle Speed Stablization System for the Disc Servo Photo Optical Etching Machine

作　　者：王晓兰[1] 周建国[1] 罗敢[1] 

机构地区：[1]华中科技大学计算机学院,湖北武汉430074

出　　处：《小型微型计算机系统》2003年第10期1882-1885,共4页Journal of Chinese Computer Systems

基　　金：国家自然科学重点基金项目 (6913 3 0 2 0 )资助

摘　　要：叙述了影响磁盘伺服图形光刻机主轴转速误差主要来源 ,分析了主轴稳速系统是实现光刻机均匀刻录不可缺少的重要环节 。In this paper , the main courses of speed error of the spindle system for the disc servo photo etching machine are discussed , and the spindle speed stablization system is proved to be an important port to make the machine etching evenly . On those , a detailed design for improving the precision of spindle speed stablization is proposed.

关 键 词：磁盘伺服图形光刻机 稳速精度 单片机控制 主轴 转速误差 

分 类 号：TP333[自动化与计算机技术—计算机系统结构]