微波反应腔中电磁场分布与等离子体行为研究  

Study of Electromagnetic Held Distribution and Plasma Character in Microwave Reactor

作　　者：张德新[1] 邹卫东[2] 

机构地区：[1]郧阳师范高等专科学校物理系,湖北丹江口442700 [2]华中科技大学物理系,湖北武汉430074

出　　处：《郧阳师范高等专科学校学报》2003年第3期17-19,共3页Journal of Yunyang Teachers College

基　　金：湖北省教育厅重点科研项目(2003A003)

摘　　要：从麦克斯韦方程组出发,采用有限积分法计算出了微波反应腔中给定等离子体的空间分布时电磁场的分布情况,以及给定电磁场的空间分布时等离子体的分布情况,从而得到了微波反应腔中电磁场的稳定分布和影响等离子体放电位置的参数.Basing on Maxwell equations, we have used the Finite Integration Theory (FIT) and calculated electromagnetic field space distribution of microwave reactor in fixed space distribution of plasma, and distribution of plasma in fixed space distribution of electromagnetic field space distribution. Spatial position parameters of electromagnetic field steady distribution and plasma discharge position were obtained.

关 键 词：微波反应腔 电磁场 等离子体 

分 类 号：O646.9[理学—物理化学]