含氟芳杂环高分子及其在微电子工业中的研究进展  

Fluorinated Heteroaromatic Polymers and the Applications in Microelectronics Industry

作　　者：刘金刚[1] 杨海霞[2] 王丽芳[2] 李彦峰[2] 范琳[1] 杨士勇[1] 

机构地区：[1]中国科学院化学研究所,工程塑料国家重点实验室,分子科学中心,北京100080 [2]兰州大学,兰州大学化学化工学院,兰州730000

出　　处：《高分子通报》2003年第5期17-27,共11页Polymer Bulletin

基　　金：杰出青年基金 (5 992 5 3 10 );工程塑料国家重点实验室研究基金(SKLEP0 0 61)

摘　　要：综述了近年来国内外在含氟芳杂环高分子方面的研究及应用进展情况。主要介绍了含氟聚苯并咪唑 (PBI)、聚苯并唑 (PBO)、聚芳醚 (PAE)及其衍生物等材料。从含氟单体的合成。Research and development of fluorinated heteroaromatic p olymers, such as polybenzimidazoles, polybenzoxazole and poly(arylene ether) and so on, have been summarized. The synthesis of fluorinated monomers, aromatic te traamines and diacids and the fluorinated heteroaromatic polymers were discussed i n detail, respectively. The applications of fluorinated heteroaromatic polymers in microelectronics fields were introduced at the same time.\;

关 键 词：含氟芳杂环高分子 微电子工业 研究进展 三氟甲基 单体 微电子 

分 类 号：O633[理学—高分子化学]