高频超声精细清洗  

High Frequency Ultrasonic Precision Cleaning

作　　者：林仲茂[1] 

机构地区：[1]中国科学院声学研究所,北京100080

出　　处：《洗净技术》2003年第05M期16-18,共3页

摘　　要：我国超声清洗的研究和应用与国外几乎是同时进行的,到现在己经历半个世纪,在清洗设备生产和应用方面都得到很大发展.但是产品大多是低超声频(20～40KHz)的清洗设备,空化强度较高,适用于不易损坏而较大零部件的清洗.目前主要发展专用或在生产线上配套的工程设备,而针对用于精巧而且对污物很敏感的高技术产品的清洗设备还很少.这大概是由于我国计算机,半导体及其他高技术产品的制造业还不发达的原因.相信不久的将来,适合此类产品的超声清洗设备需求会不断增加.为此,下面介绍一些高频超声精细清洗的发展概况.

关 键 词：超声清洗 精细清洗 高频 扫频清洗 换能器结构 超声能量计 

分 类 号：TB4[一般工业技术] TB559[理学—物理]