用对向靶溅射方法高速淀积磁性薄膜  

作　　者：范启华 

出　　处：《四川真空》1992年第3期28-31,共4页

关 键 词：溅射 磁性 薄膜 半导体 

分 类 号：TN304.7[电子电信—物理电子学]