乐甫波传感器及其应用进展  

Love wave sensor and its development

作　　者：潘海峰[1] 朱惠忠[1] 冯冠平[1] 

机构地区：[1]清华大学精密仪器与机械学系,北京100084

出　　处：《传感器技术》2003年第12期1-4,共4页Journal of Transducer Technology

基　　金：国家自然科学基金(39970644);清华大学机械工程学院"985"基金的资助。

摘　　要：乐甫波是声表面波的一种,它是在沉积于基片表面的薄层声波导中传播的波。介绍了乐甫波器件的构成和制造工艺,乐甫波传感器传感原理和常用的结构形式,论述了乐甫波传感器当前的研究情况。Love wave is one type of the surface acoustic wave. It is an acoustic wave which propagates in a thin layer deposited on a substrate. Fabrication and technology of the Love wave device, principle and configuration of the Love wave sensor are introduced. The current development of the Love wave sensor is presented.

关 键 词：乐甫波传感器 灵敏度 液相测量 声表面波 应用 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]