电容式角位移传感器三维电场有限元分析及仿真研究  

3D Electric Field Element Analysis on Capacitive Sensor and Its Simulation

作　　者：张涛[1] 李敏雪[1] 杨波[1] 陈得余[1] 

机构地区：[1]天津大学电气与自动化学院,天津300072

出　　处：《计算机仿真》2003年第12期45-47,共3页Computer Simulation

摘　　要：该文利用有限元法对电容式角位移传感器三维电场进行分析 ,仿真研究不同结构参数的敏感元件 ,所得结论与实验结果吻合。D Electric field of capacitive angular sensor are analyzed by finite element methodology. Sensors with different dimensions are studied by simulation. The result is proved by the experiment.

关 键 词：电容式角位移传感器 三维电场 有限元分析 仿真 敏感元件 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TP391.9[自动化与计算机技术—控制科学与工程]